میکروسیستم الکتروشیمی اسکن (SECM)

میکروسکوپ الکتروشیمی اسکن AC (AC-SECM)

سیستم میکروسکوپ الکتروشیمی اسکن تماس مداوم (ic-SECM)

سیستم آزمایش امپدانس الکتروشیمی میکروزون (LEIS)

تست کلیک لرزش اسکن (SVET)

سیستم اسکن قطره ای الکترولیت (SDS)

سیستم اسکن قطره ای الکترولیت AC (AC-SDS)

سیستم تست کاوشگر کلوین (SKP)

سیستم آزمایش میکرو منطقه ای بدون لمس (OSP)

عملکرد عالی

سیستم های موقعیت یابی سریع و دقیق حلقه بسته به ویژه برای نیازهای تحقیقات نانومقیاس اسکن الکتروشیمی طراحی شده اند. با ترکیب تکنولوژی 32 بیتی DAC مخلوط منحصر به فرد Uniscan، کاربران می توانند بهترین پیکربندی را برای مطالعات آزمایشی مناسب انتخاب کنند.

سیستم عامل کار پیشرفته و انعطاف پذیر

این سیستم دارای 9 تکنولوژی سنجش است که M470 را به انعطاف پذیرترین پلتفرم کار برای اسکن های الکتروشیمی در جهان تبدیل می کند.

لوازم جانبی کامل

7 ماژول در اختیار، 3 استخر باتریز مختلف، انواع سنج، میکروسکوپ فاصله طولانی و نرم افزار تجزیه و تحلیل داده های پس از پردازش.

ویژگی های جدید M470

منحنی پردازش خودکار SECM

تغییرات مرحله منحنی پردازش سفارشی کاربر SECM

خواندن با وضوح بالا

تنظیم دستی یا خودکار فاز

M470 همچنین دارای ویژگی های زیر است:

اصلاح شیب

کاهش منحنی X یا Y (چند بند درجه پنجم)

تغییرات فوریه سریع 2D یا 3D

مرتب سازی خودکار آزمایش، حرکت کاوشگر و نقاشی منطقه

موتور ترتیب آزمایشی گرافیکی (GESE)

پشتیبانی از اسکن چند منطقه ای

نمای داده های متعدد همه آزمایش ها

تحلیل اوج

M470 نسل چهارم سیستم سنجش اسکن است که توسط ابزار Uniscan توسعه یافته است و دارای مشخصات بالاتر و فناوری سنجش بیشتر است.

پارامترهای فنی M470

ایستگاه کار (تمام تکنولوژی ها)

محدوده اسکن (x، y، z) بیش از 100 میلی متر

رزولوشن درایور اسکن حداکثر 0.1nm

مکان بندی حلقه بسته کدگذار خطی با تاخیر صفر برای خواندن مستقیم تغییرات x، z و y در زمان واقعی

وضوح محور (x,y,z) 20nm

حداکثر سرعت اسکن 12.5mm/s

رزولوشن اندازه گیری 32-bit decoder @ تا 40 MHz

پیسو الکتریکی (تکنولوژی کاوشگر اسکن IC و AC)

محدوده لرزش 20nm تا 2μm افزایش 1nm بین اوج و اوج

حداقل وضوح لرزش 0.12 نانومتر (DAC 16 بیتی، 4 میکرومتر)

گسترش کریستال 100μm

وضوح موقعیت 0.09nm (20-bit DAC, 100μm)

مکانیک الکتریکی

اسکن جلو 500 × 420 × 675 میلیمتر (H × W × D)

واحد کنترل اسکن275× 450 × 400 میلیمتر (H × W × D)

قدرت250 وات