جریان سنج جرم هوشمند کنترل کننده جریان حجم کوچک جریان سنج جرم گاز گرمایی
استفاده و ویژگی ها
کنترل کننده جریان جرم (Mass Flow Controller یا MFC) برای اندازه گیری و کنترل دقیق جریان جرم گاز استفاده می شود. آنها نقش مهمی در تحقیق و تولید در نیمه هادی و مدار یکپارچه، مواد ویژه، صنعت شیمیایی، در زمینه های مختلف صنعتی، دارویی، و لامپ های خلاء دارند. کاربردهای معمولی آن عبارتند از: تجهیزات فرآیند الکترونیکی مانند انتشار، گسترش، CVD、 اکسیداسیون، فرسایش پلازما، اسپری، تزریق یون؛ و تجهیزات پوشش، ذوب فیبر نوری، دستگاه های میکروواکنش، سیستم های توزیع گاز مخلوط، اندازه گیری کایلر، کروماتوگراف گازی و سایر ابزارهای تجزیه و تحلیل.
شاخص های اصلی فنی
محدوده اندازه گیری (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
دقت +1.5% F.S
خطی +0.5 ~ 1.5٪ FS
دقت تکرار +0.2% F.S
زمان پاسخ 10sec ویژگی های گاز: (1 ~ 4) sec
فشار کاری 0.1 ~ 0.5MPa
مقاومت فشار 3Mpa 6Mpa 10Mpa
دمای محیط کار 0 ~ 70 ℃
پروتکل RS485 MODBUS
انالوگ DC 0 ~ 5V، 4 ~ 20mA اختیاری
ویژگی های الکتریکی: SLM
منبع تغذیه DC + 15V / 24V اختیاری، جریان سنج <50mA، کنترلر <200mA
اتصال الکتریکی DB15
نرخ نشت 1×10 SCCSHe
ماده پایه 316L فولاد ضد زنگ
مواد مهر و موم لاستیک فلورو، لاستیک پرتین، نوپرین
اتصالات گاز Φ3، Φ6، Φ10، 1/8 "، 1/4 "، 3/8 "
توجه: جریان سنج جرم و کنترل کننده جریان جرم در کارخانه معمولا با نیتروژن (N₂) اندازه گیری می شود.
واحد جریان جرم: SCCM (استاندارد میلی لیتر در دقیقه) SLM (استاندارد لیتر در دقیقه)
جریان سنج جرم هوشمند کنترل کننده جریان حجم کوچک جریان سنج جرم گاز گرمایی