رزولوشن بالا دو بعدی و سه بعدیایکسسیستم اشعهFF70 CL

رزولوشن بالا دو بعدی و سه بعدی برای تجزیه و تحلیل کاملا خودکار با حداقل نقصایکسسیستم اشعه

به دلیل نقص در اجزای تراشه، زیرصفحه، نوار یا محصول نهایی، تولید نیمه هادی با استفاده از اتوماسیون، کیفیت بالا، قابل اعتماد، سریع و تجزیه و تحلیل بدون خسارت برای دستیابی به بهترین تولید مورد نیاز است. نوع جدیدFF70 CL Xسیستم های تشخیص اشعه به طور خاص برای بهترین تجزیه و تحلیل اتوماتیک کوچکترین و سخت ترین نقص های این نمونه ها طراحی شده اند. نتایج: آزمایش و تشخیص بسیار دقیق و قابل تکرار با عملکرد عالی.

لیتر بهبود نظارت بر کیفیت برای بررسی مکان های بیشتری با وضوح بالاتر و در نتیجه شناسایی خرابی های احتمالی از دست رفته

لیتر کاهش قابل توجهی هزینه ها و بهبود بهره وری با پوشش بهتر تست

لیتر بررسی قابل اعتماد و قابل تکرار برای هماهنگی پارامترهای فرآیند و نقص

لیتر این راه حل تجزیه و تحلیل اتوماسیون نوآورانه برای بهینه سازی هزینه های عملیاتی آسان است

قابلیت سیستم

FF70 CLمنطقه آزمایش بزرگتر، یعنی510 × 610 میلیمترعمق تشخیص بسیار دقیق، یعنی کمتر از150 نانومترمناسب برای تجزیه و تحلیل خودکار و بدون خسارت در مدارهای یکپارچه سه بعدی، تراشه ها و تراشه ها.

مکانیزم خلاء نوآورانه سیستم عامل می تواند نمونه را به طور ایمن و دقیق در طول تجزیه و تحلیل نگه دارد و تاثیر تحریف نمونه را جبران کند.

FF70 CLآشکارسازهای دو بعدی (از بالا به پایین) با عملکرد بالا و سه بعدی (کلعکاسی لایه ای کامپیوتری) به طور خودکار با استفاده از تقویت کننده تصویر با وضوح بالا برای چرخش شیب در اجزای عملیاتی ویژه تجزیه و تحلیل می شود.

جدیدترین نسل تمرکز نانوایکسلوله های اشعه ای می توانند تصاویر دو بعدی و سه بعدی تولید کنند که می توانند حداقل شکاف و عملکرد را نشان دهند و اندازه گیری کنند.FF70 CLتوانایی تجزیه و تحلیل سخت ترین مشکلات نیمه هادی پیشرفته

رابط کاربری گرافیکی (رابط گرافیکیآسان برای استفاده و بصری، به کاربران اجازه می دهد تا به راحتی برنامه های تجزیه و تحلیل خودکار، چند نقطه ای و چند منظوره ایجاد کنند.

آزمایش کالیبراسیون پس زمینه در تمام جنبه های سیستم نظارت خودکار و مداوم، می تواند تکرار اندازه گیری را در طول زمان تضمین کند.

لیست ویژگی های سیستم:

لیتر تجزیه و تحلیل اتوماتیک جریان بالا با تکرار خوب و نتایج قابل اعتماد

لیتر ایجاد روش های تجزیه و تحلیل خودکار، چند نقطه ای و چند منظوره برای تغییر سریع بین نمونه ها و وظایف اندازه گیری

لیتر نظارت و بهینه سازی مداوم زمینه قابل اجرا برای اطمینان از تکرار و دقت اندازه گیری

اطلاعات فنی